2000年初，德国发布可再生能源法，首次確立了税收优惠减免方案，使在太阳能工业35年发展历程中进入最具效益和最高增长率的十年。至2009年底，累计已有20.6GW推向市场，其中95%，即19.6GW在近十年内产生，大多进入并网应用。
2000~2009年，光伏工业销售的综合年均增长率达到39%，2004~2008年是光伏快速发展之年，综合年均增长率达到51%。
2004~2008年，薄膜光伏占总销售量从2004年5%增长到2008年14%，2009年占到约25%。
